獵戶座 3100S AMC空氣分子污染物監測
痕量級AMC空氣分子污染物Ma Mb(NH3、HCL、HF等)監測-半導體行業應用
光刻工藝潔淨室内痕量級NH3、HCL、HF等氣體的超高靈敏度、實時測量實踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響,對很多微量污染物極爲敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會給半導體生産帶來極大的危害,盡管随着深紫外耐腐蝕材料技術的發展,已經減少了長時間持續實時監測,而實際上空氣分子污染(AMC)的實時測量對産品質量的好壞至關重要。
獵戶座3100S系列空氣分子污染物監測系統基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術連續分析儀器,将増加半導體器件阻抗一緻性、保證更長的過濾器壽命、減少生産過程的停工時間。
EDK研發的軟件可以實時觀察、實時測量、實時操作對不同空間不同位置的NH3、HCL、HF進行分析,軟件專門針對半導體行業開發,對于深紫外光刻工藝過程中監測與控制空氣分子污染(AMC)提供有力的支持,軟件集成了多點采樣(MS)控制功能,具有實時顯示數據曲線、報警、存儲、趨勢、曆史曲線、分析等功能。
獵戶座3100系統:完善的空氣分子污染物(AMC)監測
實時監測空氣分子污染(AMC )對于半導體生産過程極爲重要。
快速監測、報警、極低濃度測量、寬測量區域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業要求之一。深紫外光刻工藝特别關注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測量,當這些氣體與化學放大光刻膠反生反應 時,将深深的影響半導體器件質量。
傳統古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過程太複雜,昂貴并且測量結果不精确。
DUKE采用被證明的CEAS(腔增強吸收光譜)技術解決AMC(空氣分子污染物)監測難題,可快速測量痕量級NH3、HCL、HF,采用脈沖熒光法測量SO2,采用增強型GC-FID測量VOCs。
獵戶座 3100S系列空氣分子污染物監測系統測量痕量級NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性,是半導體行業潔淨室AMC(空氣分子污染)測量的有力工具。
獵戶座 3100S也集成了多點監測系統,可依序将氣體抽送到分析儀或傳感器,并讀出測量結果。獵戶座 3100S内嵌的報警、報告、分析軟件是由多年半導體行業經驗的工程師集體開發。
獵戶座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4~20mA模拟模塊可以輸出來自4~6台分析儀或傳感器的數據。
每台分析儀配有内置計算機(Linux OS),可進行數據存儲和數據輸出,還支持遠程網絡控制,通過互聯網可以連接DUKE公司總部或者當地經銷商服務商,進行操作或者診斷。
使用者可以通過網絡浏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯網的地方進行操作,遠程操作可實現多級管理權限控制和操作。
獵戶座3100S 系統配置
增強靈敏度
儀器基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術,極簡使用、便捷操作,所有部件(包括内置真空泵、鍵盤、鼠标、顯示器等) 幾分鍾内可開始記錄數據,其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構成交叉幹擾。内置計 算機可以存儲大量數據到内置硬盤上,可同過數字接口或者模拟接口傳輸數據,可通過互聯網遠程存儲或記錄數據,高質 量的數據庫,适合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。
檢測限/精度(1-σ): HCL 0.1ppb
HF 0.1ppb
NH3 <0.1ppb
快速響應時間: 每個通道5秒
系統即插即用
系統可在潔淨間幾分鍾内簡單操作完成
低成本
因CEAS(腔增強吸收光譜)系統不需要特别的維護保養和備品備件,所以很好的降低了使用者成本。
CEAS (腔增強吸收光譜)---原理
基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術的儀器原理圖,使用近紅外波段光進行高靈敏度吸收測量,測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構成,激光束經過固态校準器(FSR=2.00GHz)時會測量得到相對激光波長。爲了保證清晰度,忽略了原本照射到左側測量單元腔鏡外的光束。
EP增強型版本集成了壓力傳感器和内部溫度控制器,具有超穩定性測量腔室,防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差。
CEAS(腔增強吸收光譜)相比于第一代的CRDS(腔衰蕩光譜)技術,有許多已被證明的優勢。簡而言之,激光束不需要 共振耦合進入測量腔室(例如光束不需要嚴格對準)。DUKE分析儀器和系統具有天生安裝簡單、機械牢固、防護結實等特點。
獵戶座3100S 的特性
sub-ppb級實時測量
CEAS(腔增強吸收光譜)原理
苛刻危險環境下可連續無人值守測量
無試劑、無放射源、無紙帶消耗、無吸收管或者其他耗材
長期穩定性和可靠性
固态電子器件無可移動部件
低維護量、長免維護期
出廠标定
單組份/多組份痕量級氣體測量
4~64通道多點采樣
獨立可編程報警、繼電器設置
可獨立編程采樣點順序和吹掃通道
開放的通訊協議,便于二次開發與集成
電源斷電或者斷閘,數據無丢失
觸摸屏允許數據顯示、表格顯示、曲線顯示等
%"外徑接口
管線:PFA,PVDF
距離采樣點最長管線:80m
盤裝彩色液晶顯示器
可遠程操作或可視化操作
任意的運載工具
輸出信号:标配:RS232,可選:4~20 mA,Modbus
供電:115~230 Vac 50/60 Hz
校準報告
通過采樣器或者快速回路泵采樣