• 在線式氣體分析儀
  • 便攜式氣體分析儀
  • 油氣管道健康診斷設備
  • 監測系統解決方案
  • 杜克泰克其他設備
  • 阿瑞斯-µVOC 空氣分子污染物監測系統

    阿瑞斯-µVOC 空氣分子污染物監測系統

    概述:

    空氣分子污染物(AMC)對于高科技生産過程是關鍵性因素,特别是微電子行業,有機污染物是生産過程中的消極因素,會導緻高科技公司因産品質量問題而産生的成本增加。


    無空氣分子污染物生産是理想的生産目标,通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現,持久監測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩定生産、預防過濾器突發性壽命減少等。


    阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案,不需要采樣,離線測量。


    檢測限達到sub-ppb級

    潔淨室環境中的空氣分子污染物AMC,内部來自建築材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員産生、管路洩露、設備維護修理時散發等,外部來自環境空氣中存在的氣相污染物,以及潔淨室的廢氣排放重新送回潔淨室。

    一旦AMC空氣分子污染物超标會引起一系列嚴重後果,比如晶圓廢棄、停産、重新淨化潔淨室等。


    空氣分子污染物問題:從潔淨間到生産機台加工

    随着IC産品生産成本的增加,空氣分子污染物AMC的監測變得越來越重要。

    污染物從加工到超淨間的擴散,并且成份的增加,分子污染物來自多個源頭,比如生産化學藥劑、建築材料、潔淨間設備裝置、操作人員等。

     

    阿瑞斯-μVOC系統意味着潛在鑒别空氣分子污染物與産生污染問題和減少污染問題之間的關聯,完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量,提供早期AMC監測和快速确定這些污染問題的原因。


    亮點


    工作原理

    GC氣相色譜是分離多種複雜混合物常用的技術,這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

    當不同的揮發性有機物從色譜柱分離岀來後通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化,從而确定不同組份的濃度,獨特的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。


    特性

    工作原理:

    GC-FID

    測量量程:

    0~200 ppb

    準确度:

    2%

    尺寸(HxWxD)

    160 cm x 60 cm x 80 cm

    防護等級

    Nema 12或IP54不鏽鋼外殼

    工作溫度:

    10℃~35℃

    通訊:

    RS-232,Ethernet,ODBC

    電源:

    230 Vac,50/60 Hz 900W

    供氣要求:

    CDA 5 l/min H2 130 sccm(可選H2發生器)

    采樣通道:

    高達16

    分辨率:

    0.1 ppb

    測量組份:

    高達30,客戶可定制


    可測組份

    2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

    (t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

    2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

    六甲基二矽胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

    異丙醇(CH3 ) 2CHOH

    二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

    乙醇胺 H2NCH2CH2OH

    鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

    環己胺C6H11NH2

    鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

    環聚二甲基矽氧烷(-Si(CH3)2O-)n

    鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

    對二氯苯CIC6H4CL

    三乙胺(C2H5 ) 3N

    鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

    鄰苯二甲酸二環己酯C6H4(C=OOC6H11)2

    鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

    磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

    十甲基環五矽氧烷(-Si(CH3)2O-)5

    十二甲基環五矽氧烷(-Si(CH3)2O-)6

    二甲苯(CH3)2C6H4

    三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

    三甲基矽醇C3H10OSi

    ......


    應用






    咨詢電話 010-8243-3533
    版權所有 © 北京杜克泰克科技有限公司 京ICP證000000号